簡(jiǎn)要描述:CIF 推出的中試生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)是為研發(fā)型客戶和工業(yè)級(jí)客 戶而設(shè)計(jì)的等離子體表面處理設(shè)備。配置豐富, 且真空腔體里可分層, 適合大多數(shù)生產(chǎn)場(chǎng)景清洗,活化、刻蝕等應(yīng)用。設(shè)備可在嚴(yán)苛環(huán)境下 穩(wěn)定運(yùn)行,產(chǎn)品性能穩(wěn)定,樣品處理重復(fù)性、一致性好。
產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
品牌 | CIF | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子 |
產(chǎn)品特點(diǎn)
◆ 7 寸彩色觸摸屏中英文互動(dòng)操作界面,自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài),20 個(gè)配方程序,可存儲(chǔ)、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù)。
◆ PLC 工控機(jī)控制整個(gè)清洗過(guò)程,手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。
◆ 采用質(zhì)量流量計(jì), 氣體流量控制更準(zhǔn)確。標(biāo)配雙路氣體輸送系統(tǒng), 可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)??奢斎胙鯕?、氬氣、氮?dú)狻?/span> 四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。
◆ 采用多孔道進(jìn)氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問(wèn)題。
◆ HEPA 高效過(guò)濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。
◆ 316 不銹鋼真空艙,潔凈無(wú)污染。
◆ 全真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì)。
◆ 處理高效均勻,效率高,工藝重復(fù)性好。
◆ 合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),設(shè)備占用空間小。
◆ 可處理各種材質(zhì)、形狀、尺寸樣品。
◆ 樣品處理溫度低,無(wú)熱損傷和熱氧化。
◆ 使用成本低、耗損小。
◆ 產(chǎn)品性能穩(wěn)定,安裝維護(hù),簡(jiǎn)單方便。
◆ 安全保護(hù),艙門(mén)打開(kāi),自動(dòng)關(guān)閉電源。
◆ 機(jī)器運(yùn)行、停止提示。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | CPC15 | CPC35 | CPC80 | CPC120 | CPC150 |
艙體尺寸 | W240xH240 xD260mm | W320xH320 xD350mm | W420xH400 xD500mm | W500xH500 xD450mm | W500xH500 xD600mm |
艙體容積 | 15L | 35L | 80L | 120L | 150L |
艙體材質(zhì) | 不銹鋼 | 不銹鋼 | 不銹鋼 | 不銹鋼 | 不銹鋼 |
有效尺寸 | W240xD230mm | W320xD323mm | W420xD468mm | W500xxD420mm | W500xxD565mm |
電極分布 | 2 層 | 3-4 層 | 6 層 | 8-10 層 | 10-15 層 |
射頻電源 | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz |
射頻功率 | 0-300W | 0-300W | 0-600W | 0-1000W | 0-1000W |
匹配器 | 自動(dòng)匹配器 | ||||
激發(fā)方式 | 電容式 | ||||
電流 | 1.2A | ||||
時(shí)間設(shè)定 | 9999 秒 | ||||
氣體穩(wěn)定 時(shí)間 | 1 分鐘 | ||||
真空度 | 100pa 以內(nèi) | ||||
控制系統(tǒng) | 7 寸 PLC 觸摸屏控制 | ||||
工藝氣體 | 2 氣路 MFC (可選裝 3 路) | ||||
產(chǎn)品尺寸 | L625xW600 xH760mm | L625xW600 xH805mm | L905xW845 xH1940mm | L625xW600 xH760mm | L905xW845 xH2010mm |
包裝尺寸 | L740xW775 xH1000mm | L740xW775 xH1045mm | L1015xW1065 xH2050mm | L1015xW1065 xH2120mm | L1015xW1065 xH2120mm |
真空泵 | 抽速約 8m3/h | 抽速 16m3/h | 抽速 40m3/h | 抽速 60m3/h | 抽速約 60m3/h |
電源 | AC220V 50/60Hz 552W | AC220V 50/60Hz 552W | AC380V 50/60Hz 902W | AC380V 50/60Hz 1302W | AC380V 50/60Hz 1302W |
整機(jī)重量 | 108kg | 135kg | 465kg | 485kg | 575kg |
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